| 1 总 则 |
| 2 术 语 |
| ╁3 电子产品生产环境设计要求 |
╁4 总体设计| 4.1 位置选择和总平面布置 | | 4.2 洁净室型式 | | 4.3 洁净室布置和综合协调 |
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╁5 工艺设计| 5.1 一般规定 | | 5.2 工艺布局 | | 5.3 人员净化 | | 5.4 物料净化 | | 5.5 设备及工器具 |
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╁6 洁净建筑设计| 6.1 一般规定 | | 6.2 防火和疏散 | | 6.3 室内装修 |
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╁7 空气净化和空调通风设计| 7.1 一般规定 | | 7.2 气流流型和送风量 | | 7.3 净化空调系统 | | 7.4 空气净化设备 | | 7.5 采暖、通风 | | 7.6 排 烟 | | 7.7 风管、附件 |
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╁8 给水排水设计| 8.1 一般规定 | | 8.2 给 水 | | 8.3 排 水 | | 8.4 雨 水 | | 8.5 消防给水和灭火设备 |
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╁9 纯水供应| 9.1 一般规定 | | 9.2 纯水系统 | | 9.3 管材、阀门和附件 |
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╁10 气体供应| 10.1 一般规定 | | 10.2 常用气体系统 | | 10.3 干燥压缩空气系统 | | 10.4 特种气体系统 |
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╁11 化学品供应| 11.1 一般规定 | | 11.2 化学品储存、输送 | | 11.3 管材、阀门 |
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╁12 电气设计| 12.1 配 电 | | 12.2 照 明 | | 12.3 通信与安全保护装置 | | 12.4 自动控制 | | 12.5 接 地 |
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╁13 防静电与接地设计| 13.1 一般规定 | | 13.2 防静电措施 | | 13.3 防静电接地 |
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| ╁14 噪声控制 |
╁15 微振控制| 15.1 一般规定 | | 15.2 容许振动值 | | 15.3 微振动控制设计 |
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| 附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求 |
| 附录B 电子产品生产间／工序的火灾危险性分类举例 |
| 附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例 |
╁附录D 洁净室(区)性能测试和认证| D.1 通 则 | | D.2 洁净室(区)性能测试要求 | | D.3 洁净室测试方法 | | D.4 认 证 | | D.5 记 录 |
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| 本规范用词说明 |
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